スタンパ用検査装置 DVD Stamper Analyzer
- 型 番
- EPS-ST
- 特 徴
-
- 精密なリターンビリティである為、毎回分析する度に数値が変わるという事がありません。
- 低価格でハイクオリティなマシンです。
- オプションで検査に必要の無い項目を削除し簡素化する事が可能です。
- CAT’Sとの互換性も兼ねています。
- 仕 様
-
電力 230 / 110 ± 10 VAC 実行温度 21 ± 2 ℃ 湿度 55 ± 5 % 機械寸法 560 x 1060 x 600 ( W x H x D mm) 機械重量 90 kg
自動偏向解析装置 Automatic Elipsometer
- 型 番
- MARY-102
- 特 徴
-
- ホールモータとオプティカルエンコーダの組み合わせ構造により高速・高再現性を実現しています。
- 回転位相子法を採用しているため高精密に測定を行えます。
- 工業用、研究用の高機能ソフトウェアを同時に搭載することも可能です。
- 高さと傾きを調整することができます。
- NIST基準の10種の膜厚の異なるサンプルにより公正を行っています。
- 豊富なオプションと特注システムアップも構築可能ですのでお気軽にご連絡下さい。
- 仕 様
-
測定方式 回転位相子法 （RQ法） 光源 0.8 mW
HeNeレーザ （λ＠632.8nm）ビーム径 0.8 mmÙ 入射角 自動可変手動可変あるいは固定（任意）
自動の場合 45°〜90°、0.01°サンプルステージ 6インチサイズ標準 (8", 12")
自動θ-Y タイプ
手動θ-Y タイプ
モータドライブZ軸
手動Z軸
手動チルト機構付測定精度 Δ = ± 0.01 °
ψ = ± 0.01 °
@SiO2(1000 Å) / Si 測定時測定時間 Min 0.05 秒 ソフトウェア 研究用・工業用を選択 寸法 280 × 400 × 450 mm